半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体材料一个测封一体化涉重废气——MVR直接循坏零排新项目
工作原型
半导体器件设备中高端测封顶目,规模性150每立方米/天,是首份半导体器件设备测封配建涉重废污水零排顶目。测封阶段的镀镍、镀铜、引线骨架除污会引起含镍含铜废污水,工业园区符合要求"无尾水外排",产水整体中水回用于产线。
水硬度的特点与困难
废水净化处理工艺以含镍有利于(含量10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH下降大(2–12),有光刻胶余留的少量的充分物。首测厂用地紧,规定要求净化处理的设施征地赔偿小;零排表明着浓水是不能清运多,有必要本地化多效蒸发成果前馈。
正确处理工学院艺自驾线路
布局走"分质收藏 → 预办理除杂 → 有机化学水解除镍 → 过滤程序 → UF+二级RO → MVR强硬反复化掉 → 气液分离器水使用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢腐蚀钠转化Ni(OH)₂奠定,后加混炼钠进一步捕集器残余物镍(混炼镍Ksp比氢腐蚀镍更小,可以将镍压到0.1毫克/升下例);
沉淀物出液经多媒介过滤器清洁+安检员过滤器清洁后进UF,再进6级RO,产水单独回产线洗;
RO浓水(含盐+残渣巨资属)进MVR強制巡环挥发器,強制巡环能扛高含盐积垢,挥发器预装软件卸载优酷云难以清理,不容易堵;
MVR蒸汽加热水进入使用蓄水池,蒸馏残液委外焚烧秸秆或看作危险废物外理,这个作业区无等离子态外排。
关键因素设施设备优点有哪些说明书怎么写
MVR强制性反复想必通常降膜汽化,反复流体密度高、热传导面材质结镍盐/碳酸盐垢,最适合测封这样"用水量并不太但生活饮用水杂"的场景设计的;成系统化撬装设计的占地面比经典汽化塘+多效汽化策划方案小60%上;废气侧相互配套菌物滤池,把调池和厌氧颗粒污泥间的废气抽取后光降解成CO₂和水,防止测封厂紧挨着企业办公场所的甲醛味道匿名举报。
除理效果好与前景
出水量镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,具有《化学镍污染问题物的环境保护标准》表三;所有的150万m³/天产水中水回用于首测产线清理,用于等量新鲜松茸水;垃圾(化掉残液+污泥处理)量比传统的"沉垫+的污染物"的模式减约70%。对富士康侧,首测工程环境保护运营卡点挨打通;