该厂为8厘米晶圆生产销售线配套工程的超净水设计，没天带来含硅化工废水150吨。化工废水面虽无高价属，但硅分量高易积垢，且电阻功率率需达到18MΩ·cm这样才能回收。原来的清工院艺无非需求新废止的《电商实业水影响物排污规定》（GB39731-2020）非常排污允许值。 废液含量特殊性 注意感染物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（比表面积0.1-1μm） 特殊性想要 ：TOC<10μg/L，硼水分含量<5μg/L 水的质量性能指标 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅有机化合物特性繁复 外理工艺设计步骤 科技创新分为"梯级膜拆分+电去正离子"搭配工艺设计： 微滤预进行处理 ：1μm陶瓷图片膜屏蔽短信大颗粒状硅，通量恢复80LMH 阴离子互相交换硅橡胶 ：D201大孔硅橡胶的条件性吸咐硅酸大分子 2级RO系统性 ：首先段再利用率60%，其次段用于高脱硼膜电子器件 EDI电去阴阳离子 ：电压强度2A/m²，持续不断我们要除残余物化合物 太阳光的紫外线消毒 ：254nmUV紫外线灭菌灯线分子量40mJ/cm² 新技术新亮点 规划设计专属阻硅剂（巧妙胺类软型物），推迟膜的污染定期3倍 EDI传感器信息化流道设置，硅洗去率提高了至99.8% 一直在线硅进行检测仪（估测範圍0.1-500μg/L）改变深度贫困操作 作业转化效果 经再者方查测： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含量从8μg/L降下来0.3μg/L 操作系统收集率从原40%上升至68% 膜改换期限减少至5年，年正常运作生产成本消减35%