该晶圆研发厂处在华东地方地方,重点分娩8英尺半导晶圆,单日废渣产生口量约800吨。随着分娩的过程 中选择非常多的氢氧化钠对其进行晶圆蚀刻,以至于废渣中氟化物酸度可高达200-300mg/L,远超國家产生口标准单位(10mg/L下)。
焦化废水化学物质及来历
工业废水一般位于两个的环节:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸银及大量天价属
化学工业自动化设备拋光(CMP)废水处理
:含纳米技术级硅颗粒肥料、无机络合剂
机器清洁废渣
:含异丙醇、挥发酚等有机肥料物
处置程序程序
分为"有机化学积淀+混泥土积淀+角度进行过滤"三级分销净化处理体系:
特一级处里
:加药氯化钙和氢氧化反应钙,进行氟化钙积累,氟化物删去率达85%
三级治理
:插入PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),消除电解质溶液态被污物
一级加工处理
:利用多媒介过滤装置器和活性酶类炭降解,出水出水氟化物氨水浓度安稳在8mg/L以上
关健系统的还包括:pH智能调试系统的、斜管悠长岁月中池、板框板框压滤机(污水脱水现象)。
结果是结果
大型项目使用十年监测器参数体现:
氟化物差不多质量浓度:7.2mg/L(远低于的国家规定)
COD我们要除率:92%
厌氧颗粒污泥含水分率:≤65%
年的回收采取氟化钙副软件约150吨,达成资源的化采取