某半导体行业厂在制作进程中的使用硝酸铵系成像液,引发高含量含NOx废水除理方法,日除理量50吨。废水除理方法中含NO2-高达模型2000mg/L,且具有刺激性微量分析有机酸光刻胶材质,除理的难度过大。
2. 生活污水化学成分及來源
成像流程残液(大部分被气体污染源)
晶圆清洁化工废水
烟粉尘洗條塔雨排
3. 加工制作工艺步骤
运用"中高级氧化反应+多级生物工程办理"创新性工艺设备:
二氧化反应碳氧化反应
:可以通过二钝化碳发生的器生成O3,将难溶解巧妙物溶解为小分子式杂质,同一将NO2-钝化为NO3-。
生物制品膜反應器(MBR)
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第1 级:氧气不足环境下污泥脱水甲醇最为碳源,提高网站反水解酸化现象
第二个级:好氧海洋生物膜进每一步吸附生产物
电生物高度整理
:利用钛基镀层电极片,使用电解设备功用彻底删除文件溶解残余物环境破坏物。
4. 进而实际效果
NOx总氮下降8mg/L之下
COD固定在30mg/L三岁
废水处理工艺工业废水处理率达60%
程序运动耗能的控制在3.5kWh/吨水,较传统的加工制作工艺 绿色建筑20%。