半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
項目题材
该产业群园积聚了十余家半导鑫霖环保,制定日处里本事5000吨,都要处里来源各种不同公司的搭配电镀废污水。伴随各公司产量方法差异化大,电镀废污水含量复杂性多样,处里難度较高。
废水处理物质及的来源
生活污水重要还还有中国三大类:高腐蚀还原电位有机质酸生活污水(光刻胶、显影液液等)、含氟生活污水(刻蚀程序)和耐酸碱生活污水(洗涤程序)。特异化学成分还还有异丙醇、四甲基氢腐蚀铵等难分解有机质酸物,相应氟化物、高锰酸盐指数等三聚氰胺树脂污染破坏物。生活污水COD上下波动大(500-3000mg/L),氟化物腐蚀还原电位100-500mg/L,高锰酸盐指数50-150mg/L。
治理施工工艺程序流程
使用"区分搜集+分质操作+密集淬硬层操作"的什么是创新模式,:
的企业内壁细分预解决:含氟化工废水单个回收并预解决
工业园区供水管道分为输送带系统化
整合控制池教育均衡发展水的硬度
二级混凝土积淀去掉悬浮按钮物和氢氧化铁
高质量生物技术反應器(HBR)工作可挥发被污渍
O3崔化空气氧化挥发难拆分生产物
超滤法机系统参与脱盐加工
红外光谱线灭菌有效确保出液的安全
特别的放置了迅雷环境监测站体系和手动投药体系,回应水硬度跌涨。
结果是成效
软件系统自动运行两年来,整理用到效果稳固准确。出液COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,起到水质监测Ⅳ类细则,一部分工业废水处理于工业区园林景观及冷确塔补水保湿,工业废水处理率少于30%。第年缩减最新水用到约20万吨,为工业区商家节约了水电费千余万美元。